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SKC가 반도체용 하이엔드급 블랭크 마스크(Blank Mask) 국산화에 나선다.
SKC 관계자는 20일 "블랭크 마스크 시제품을 현재 국내 수요기업과 테스트 중"이라며 "하반기 상업생산을 개시하면 국내 공급안정성이 개선될 것"이라고 말했다.
SKC는 2018년부터 430억원을 투자한 블랭크마스크 신규 공장을 작년 말 완공했다. 블랭크마스크는 반응시키는 빛 파장에 따라 KrF(불화크립톤·248nm), ArF(불화아르곤·193nm), EUV(극자외선·13.5nm)으로 구분된다.
통상 ArF와 EUV가 하이엔드급에 속하며 현재 일본산 수입 의존도가 90% 이상 차지한다. 블랭크마스크는 對일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 해당된다.
또한 SKC는 일본의 3대 수출규제 품목인 '불화 폴리이미드(fluorine polyimide)'에 대해 850억원을 투자해 작년말 완공된 공장에서 시제품을 생산 중이다.
이 외에 SKC는 지난 1월 전기차 배터리 소재로 사용되는 동박(銅箔) 제조사 KCFT를 1조2000억원에 인수, 전북 정읍에 제5공장 1200억원을 투자해 증설을 진행중이다.
이용선 SKC 부사장은 "정부가 신규 공장 완공에 필요한 인허가 신속처리, 수입장비 할당관세 적용, R&D 관련 지원에 감사하다"며 "국내 기업들이 소부장 정책의 추진동력을 유지할 수 있도록 관련 사업에 대한 정부의 지속적인 관심과 지원이 필요하다"고 말했다.
정승일 산업통상자원부 차관은 20일 SKC 천안 블랭크마스크 공장을 방문한 자리에서 "SKC의 블랭크마스크 국산화를 위한 임직원의 노고에 감사하다"며 "지난해 추경 650억원과 올해 1165억원을 투입해 일본 수출규제 3개 품목의 국내 공장 신증설과 외투기업 투자 등 완전한 공급안정화를 달성할 계획"이라고 말했다.
정 차관은 "소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부-수요-공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다"며 "조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목 상용화에 올해 2100억원 이상 지원할 계획"이라고 말했다.
한편 일본의 對한국 수출규제 품목 중 불산액은 솔브레인이 공장 신증설을 통해 기존보다 공급량을 2배 늘리는 공사를 진행중이다. 불화수소는 국내 A社가 공장 신설 및 시제품 테스트 중으로 빠르면 5월 중 양산이 가능한 상황이다.
EUV(극자외선) 레지스트는 美 듀폰(DuPont)의 한국내 개발 및 생산시설 투자가 진행중이다. 불화 폴리이미드는 코오롱인더스트리가 생산체제를 구축해 해외에 일부를 수출하고 있으며, SKC는 공장 신설 및 시제품 테스트를 진행중이다.